Meta分析（Meta-analysis）一词，最早由统计学家基恩·格拉斯（GeneV. Glass，美国，1940~）于1976年正式提出。虽然Glass作为Meta分析的创立者广为人知，但Meta分析背后的方法学理念却可以追溯到17世纪。1753年，医生詹姆斯·林德（James Lind，苏格兰，1716-1794）发表了第一篇系统综述，而1904年统计学家卡尔·皮尔森（Karl Pearson，英国，1857-1936）发表在英国医学杂志（BritishMedical Journal，BMJ）的一篇关于伤寒疫苗有效性的研究，被认为是首次使用了Meta分析的方法理念，对多个临床研究的结果加以总结 ^。

20世纪80年代中期，Meta分析被逐步引入到临床随机对照试验及流行病学研究中，并在近十年来快速发展，Meta分析论文发表数量也快速增长。近年来，随着方法学的不断发展，累积Meta分析（CumulativeMeta analysis）和网状Meta分析（NetworkMeta analysis）等新方法也应运而生。