(1)儀器名稱:X射線光電子能譜儀(XPS)

(2)英文名稱:X-ray photoelectron spectroscopy

(3)功能:物質表面的定性及定量化學分析,量測Valance band和功函數,量測電子親和力

(4)收費:

學界:預抽真空$200/hr;基本費$1000/hr;Ar離子鎗$50/min;UPS $100/hr;LEIPS $100/hr

業界:預抽真空$1,500/hr;基本費$3,000/hr;Ar離子鎗$100/min;UPS $1,000/hr;LEIPS $1,000/hr

國科會計畫預約收費:基本費$1550/3hr(含預抽真空),Ar離子鎗$50/min;UPS $100/hr;LEIPS $100/hr

圓檔處理費(元素含量及半高寬)100元/張

3.粉體樣品須事先壓錠。 *若粉體樣品未壓錠好,將不予以測量;或是測試期間,因樣品損壞儀器,均由申請人負擔賠償責任。 4.樣品須自行前處理(烘乾、除水),以便實驗過程中真空度降至1x10-7。 5.進行微區分析時,申請人須親自到場指定受測區。 6.樣品預約時請先下載X射線光雷子能譜儀(XPS)服務辦法和樣品預約單。 文件下載:
1.
XPS計費範例.pdf