iST不僅可以提供一般剖面研磨(Cross-section),也提供樣品從背面進行研磨(晶背研磨,Backside Polishing),將基材磨至特定的厚度後再進行拋光。剖面、斷面研磨與晶背研磨(Backside Polishing),都是為了可以銜接後續的分析檢測。

研磨(Polishing)基本流程
  • 切割:利用切割機裁將樣品裁切成適當尺寸
  • 冷埋:利用混合膠填滿樣品隙縫,增強樣品之結構強度,避免受研磨應力而造樣品毀損
  • 研磨:樣品以不同粗細之砂紙 (或鑽石砂紙),進行研磨
  • 拋光:於絨布轉盤上加入適當的拋光液,進行拋光以消除研磨所殘留的細微刮痕
  • IC封裝完整性測試
    IC電氣驗證測試
    板階可靠度驗證
    低應變率試驗
    高應變率試驗
    PCB設計驗證